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        工具鍍膜機
            發布時間: 2021-02-17 13:50    
        工具鍍膜機

            PVD1050-8型多弧離子鍍膜機是專門為工具(功能)鍍膜應用開發的計算機自動控制離子鍍膜機,適用于切屑刃具、模具等鍍膜生產,可獲得更好的膜層質量和耐蝕性能等。

            設備可在450~500℃高溫下長期穩定的運行

            配置離子源清洗,加裝擋板,實現離子轟擊清洗,輔助沉積

            配有步進電機驅動轉架,實現精確定位,轉架可拉出便于裝卸工件

            配有φ155大弧源,特點:膜層組織細膩,顆粒小,先進的電磁掃描磁場,弧斑運動速度更快、實現高效濺射。

            4縱列弧源配置,可沉積2種不同材料膜系且膜層均勻。

            寬水道加強設計,超強剛性,爐體水冷效果好。





        高端配置:
        萊寶真空單級泵SV200
        霍廷格脈沖偏壓36KW
        弧電源(IGBT模塊)
        萊寶高真空分子泵 MAG2200
        VAT氣動插板閥
        英??礐DG045D薄膜規
        德國BERKERT寶得氣體質量流量計8711型
        三菱FX系列PLC邏輯控制器及功能模塊


         技術參數:

           真空室內尺寸:φ1050x1200
           極限真空度:5x10-4Pa
           空恢時間:大氣抽到6.7x10-3Pa≤20min
           壓升率:≤0.5Pa/h
           占地空間:L3.6×W3.3×H2.5m3
           裝機容量:約180KW

           主要配置:

           弧源:φ155大弧源,8套
           離子源: 霍爾離子源或大功率弧光柱型離子源
           加熱方式:盤管式加熱器,分區加熱
           工件架:下轉架,行星公自轉結構,采用交流伺服電機驅動
           控制方式:PLC/觸摸屏控制
           脈沖偏壓:40KW
           弧電源:200A

           主要膜層:TiN  ALTiN  TiAlSIN  TiCN 
                           AlCrN  CrN  DLC(選配)


           真空系統配置:

           高真空泵:F-3600分子泵
           預抽泵:RTO-300 羅茨泵
                   2XT-70旋片泵
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